Reinigungssystembox
Das Gasreinigungssystem ist mit verschiedenen versiegelten Behältern, Geräten und Produktionslinien verbunden, um eine geschlossene Zirkulationsumgebung zu bilden. Die Reinigungsmaterialien in der Reinigungskolonne reinigen das Inertgas (hauptsächlich entfernen sie Wasser und Sauerstoff), sodass das System immer eine hochreine und hochreine Inertgasumgebung aufrechterhält.